Phòng sạch – Thi công phòng sạch Clean Room

Phòng sạch không bụi

Phòng sạch (Clean Room) nó là cơ sở của kiểm soát ô nhiễm. Không thể sản xuất hàng loạt các bộ phận nhạy cảm với nhiễm bẩn nếu không có phòng sạch không bụi. Trong FED-STD-2, phòng sạch không bụi được định nghĩa là phòng có lọc không khí, phân phối, tối ưu hóa, vật liệu và thiết bị xây dựng, trong đó các quy trình vận hành thường xuyên cụ thể được sử dụng để kiểm soát nồng độ hạt trong không khí để đạt được lượng hạt thích hợp mức độ sạch sẽ. Tên tiếng Việt là phòng sạch, độ ẩm tương đối là 45-65% (RH), tiếng ồn nhỏ hơn hoặc bằng 65dB (A) và độ chiếu sáng nhiều hơn hơn hoặc bằng 300Lux.

Thông tin phòng sạch cơ bản

• ☞Phòng sạch không bụi đề cập đến việc loại bỏ các chất ô nhiễm như hạt và vi khuẩn trong không khí trong một không gian nhất định, nhiệt độ trong nhà, độ sạch, áp suất trong nhà, vận tốc không khí và phân phối không khí, độ rung tiếng ồn và ánh sáng, tĩnh điện. Nó được kiểm soát trong một phạm vi yêu cầu nhất định và một căn phòng sạch sẽ và không bụi được thiết kế đặc biệt được cung cấp.
• ☞Thứ hai, nguyên tắc phòng sạch không bụi. Phòng sạch sử dụng HEPA và thiết bị lọc không khí, tỷ lệ thu gom bụi cao tới 99,97 ~ 99,99995% nên không khí được lọc bằng bộ lọc này có thể nói là rất sạch. Tuy nhiên, ngoài con người, trong phòng sạch còn có các nguồn bụi như máy móc, một khi bụi sinh ra lan rộng sẽ không thể duy trì không gian sạch sẽ, do đó phải sử dụng luồng khí để nhanh chóng thải bụi sinh ra ra bên ngoài.
• ☞Ba loại bụi trong phòng sạch. Có ba nguyên tắc trong phòng sạch không bụi: không bụi, bụi và bụi. Là một trong những kênh đệm để vào phòng sạch, vòi hoa sen không khí là một trong những thiết bị thanh lọc tốt nhất để kiểm soát bụi, có thể giảm thiểu ô nhiễm do nhân viên ra vào phòng sạch gây ra. Hai cửa của vòi hoa sen không khí được khóa liên động điện tử, cũng có thể hoạt động như một khóa khí, ngăn ô nhiễm bên ngoài và không khí không trong lành xâm nhập vào khu vực sạch không bụi và đạt được môi trường sản xuất sạch theo yêu cầu của xưởng sản xuất.
• ☞Thứ tư, chức năng chính của phòng sạch là kiểm soát độ sạch cũng như nhiệt độ và độ ẩm của không khí mà sản phẩm (như chip silicon, v.v.) tiếp xúc, để sản phẩm có thể được sản xuất và chế tạo trong một không gian môi trường tốt, mà chúng tôi gọi Đó là phòng sạch không bụi. Theo thông lệ quốc tế, mức độ lọc không bụi chủ yếu được quy định theo số lượng hạt có đường kính hạt lớn hơn tiêu chuẩn phân chia trong mỗi mét khối không khí. Có nghĩa là, cái gọi là không bụi không phải là 100% không có một chút bụi, mà là được kiểm soát trong một đơn vị rất nhỏ. Tất nhiên, các hạt đáp ứng tiêu chuẩn bụi trong tiêu chuẩn này đã rất nhỏ so với bụi thông thường của chúng ta, nhưng đối với cấu trúc quang học, dù chỉ một chút bụi cũng sẽ có tác động tiêu cực rất lớn, vì vậy trong quá trình sản xuất các sản phẩm cấu trúc quang học, không bụi là một yêu cầu tất yếu.
• ☞Kiểm soát số lượng bụi mịn có kích thước hạt nhỏ hơn 0,5 micron xuống dưới 3.500 trên một mét khối và nó đã đạt đến mức A của tiêu chuẩn không bụi quốc tế. Các tiêu chuẩn không bụi áp dụng cho sản xuất và xử lý cấp chip có yêu cầu về bụi cao hơn loại A và các tiêu chuẩn cao như vậy chủ yếu được sử dụng trong sản xuất một số chip cấp cao hơn. Lượng bụi mịn được kiểm soát chặt chẽ trong phạm vi 1000 trên một mét khối, thường được gọi là mức 1K trong ngành.

Xem thêm: Tủ giày phòng sạch

Thông số kỹ thuật hệ thống quản lý

1. Mục đích: Làm tốt công tác giám sát và quản lý vệ sinh trong quá trình sản xuất, ngăn ngừa lây nhiễm chéo, đóng vai trò quan trọng đối với chất lượng sản phẩm, vì vậy đặc điểm của quy trình quản lý vệ sinh khu vực sạch phòng sạch không bụi hệ thống.

2. Phạm vi: Nó phù hợp để quản lý dòng người trong xưởng sạch, hậu cần và môi trường của xưởng và các yếu tố khác liên quan đến sự sạch sẽ của cơ sở.

3. Quy trình làm việc:

• ✓Nhân viên vào khu vực sạch sẽ phải khám sức khỏe và lấy giấy chứng nhận sức khỏe mới được bắt đầu làm việc, mỗi năm khám lại một lần, nếu không đạt yêu cầu thì phải thuyên chuyển ra ngoài, nhân viên bị cảm cúm thì không được được phép làm việc trong khu vực sạch sẽ.
• ✓Diện tích sử dụng của mỗi người trong khu vực sạch sẽ không nhỏ hơn 4 mét vuông
• ✓Để quản lý quần áo bảo hộ lao động trong khu vực sạch, xem “Hệ thống quản lý quần áo bảo hộ lao động tại khu vực sạch”
• ✓Nhà xưởng sạch sẽ phải được khử trùng bằng tia cực tím trong 60 phút sau khi tan sở mỗi ngày và điền vào “hồ sơ khử trùng bằng tia cực tím” và xông khói bằng formaldehyde mỗi tháng một lần trong nửa giờ, và điền vào “hun trùng và hồ sơ khử trùng”
• ✓Việc phân luồng người ra, vào khu vực sạch phải được thực hiện theo đúng quy trình và yêu cầu sau đây.
• ✓Mọi người vào nhà => thay giày => cởi áo => rửa tay => mặc quần áo sạch => khử trùng tay =>
  Khu vực sạch sẽ => ra khỏi cửa => cởi quần áo sạch => mặc áo khoác => thay giày => mọi người ra ngoài
• ✓Nhân viên đặc biệt chịu trách nhiệm chuẩn bị chất khử trùng và chất khử trùng 0,3″ được sử dụng để khử trùng
• ✓Công tác hậu cần vào khu vực sạch phải được thực hiện theo quy trình và yêu cầu sau: Các mặt hàng => phòng giải nén => cửa sổ chuyển hai lớp => khu vực sạch => cửa sổ chuyển hai lớp => phòng đóng gói
• ✓Linh kiện, nguyên phụ liệu khi vào khu vực sạch phải được bóc bỏ bao bì bên ngoài và chuyển qua cửa sổ trung chuyển hai lớp, sản phẩm sản xuất ra phải được đóng gói, niêm phong trước khi chuyển ra cửa sổ trung chuyển.
• ✓Sau khi tan sở hàng ngày, người vận hành nên làm tốt công việc lau chùi bề mặt làm việc, sàn và phân, lau tường và trần nhà mỗi tuần một lần và điền vào “hồ sơ vệ sinh xưởng sạch sẽ”
• ✓Không để móng tay dài, không sơn móng tay, không đeo nhẫn, vòng tay, đồng hồ, dây chuyền, không ăn uống, không gây tiếng ồn lớn, không mặc quần áo bảo hộ lao động khi rời khỏi khu vực sạch sẽ hoặc không mặc quần áo bảo hộ lao động khi vào khu vực sạch. mặc phải có quy định
• ✓Hộp doanh thu ở khu vực sạch phải là hộp doanh thu không xốp có nắp đậy và không được sử dụng chéo với hộp doanh thu ở khu vực không sạch.
• ✓Trên cơ sở đảm bảo sạch sẽ, hộp doanh thu phải được vệ sinh ít nhất một lần một tuần để đảm bảo sạch sẽ và điền vào “hồ sơ vệ sinh và khử trùng thiết bị làm việc”
• ✓Người vận hành nên bảo dưỡng dụng cụ trong khu vực sạch sẽ sau khi nghỉ làm hàng ngày để giữ cho dụng cụ luôn sạch sẽ
• ✓Tất cả khí nén đi vào khu vực sạch để thử nghiệm và sản xuất cần phải được lọc sạch.
• ✓Trong quá trình sản xuất của xưởng sạch, các phụ tùng rơi vãi dưới đất phải được làm sạch trước khi tái sử dụng, không được lau sản phẩm bằng sàn trong quá trình lắp ráp
• ✓Người vận hành trong khu vực sạch sẽ phải lau và sát trùng tay bằng cồn 2 giờ một lần để tránh mồ hôi hoặc bong tróc da ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm
• ✓Khi tan sở hàng ngày, sản phẩm phải được đặt trong thùng quay vòng và được che đậy để tránh ô nhiễm
• ✓Thiết bị chiếu sáng trong phân xưởng thanh lọc được kiểm tra, bảo dưỡng định kỳ 2 tháng một lần đảm bảo sử dụng hoàn chỉnh, sạch sẽ và chiếu sáng
• ✓Mỗi bóng đèn cực tím phải được đánh số, ghi lại chi tiết thời gian bắt đầu sử dụng và thời gian sử dụng tích lũy, nếu đã sử dụng hơn 800 giờ thì nên thay thế, cũng có thể kiểm tra cường độ tia cực tím mỗi năm một lần. Nếu cường độ ít hơn thì nên thay đèn. Lau đèn bằng cồn mỗi tuần một lần và ghi lại.

Đặc tả quản lý thi công phòng sạch:

• ☞Việc quản lý việc vào phòng sạch, bao gồm việc nhân viên phòng sạch vào, nhập vật liệu và loại bỏ các thiết bị khác nhau: Đầu vào và thiết bị liên quan, bảo trì và quản lý đường ống phải ngăn chặn các hạt và vi sinh vật được đưa vào phòng sạch.
• ☞Công nghệ quản lý vận hành, sản xuất, mặc quần áo và vệ sinh nhân viên phòng sạch, chuyển động và hành động của người vận hành, lựa chọn và vệ sinh thiết bị trong nhà và vật liệu trang trí, khử trùng, v.v., nên được giảm thiểu càng nhiều càng tốt để ngăn ngừa sạch sẽ bụi phòng các hạt, sản xuất, lưu giữ, sinh sản của vi sinh vật.
• ☞Duy trì và quản lý chặt chẽ tất cả các loại thiết bị và phương tiện, đồng thời xây dựng các quy trình vận hành tương ứng để đảm bảo hoạt động bình thường của các thiết bị và phương tiện khác nhau, bao gồm hệ thống lọc, các hệ thống nước, khí đốt và điện, thiết bị và dụng cụ của quy trình sản xuất (kẹp công cụ) ), v.v để đảm bảo các yêu cầu về quy trình sản xuất sản phẩm và mức độ sạch của không khí.
• ☞Quản lý làm sạch và khử trùng, quy định rõ ràng về việc làm sạch và khử trùng các thiết bị và phương tiện khác nhau trong phòng sạch, phương pháp, chu kỳ và kiểm tra, để ngăn ngừa và loại bỏ các hạt bụi trong phòng sạch, sản xuất, lưu giữ và sinh sản của vi sinh vật.
• ☞Nội dung kiểm soát môi trường phòng sạch bao gồm: lọc không khí, làm sạch tòa nhà, nước hoặc khí hoặc hóa chất tiếp xúc trực tiếp với sản phẩm và các thiết bị, dụng cụ sản xuất… Kiểm soát ô nhiễm và rung hạt, tiếng ồn, kiểm soát tĩnh điện, phòng ngừa…

Nguyên tắc thanh lọc thi công phòng sạch

Luồng không khí → xử lý không khí hiệu quả chính → điều hòa không khí → xử lý không khí hiệu quả trung bình → cấp khí điều áp bằng quạt → ống cấp khí làm sạch → cửa cấp khí hiệu suất cao → phòng sạch → loại bỏ bụi (vi khuẩn) → kênh dẫn khí hồi → không khí trong lành , xử lý không khí hiệu quả chính. Lặp lại quy trình trên để đạt được mục đích thanh lọc.

Thông số kỹ thuật

• ☞Số lần thông gió: 100.000 cấp 10-15 lần/giờ
• ☞Mức 10.000 15-25 lần/giờ
• ☞1000-cấp 50-52 lần/giờ
• ☞Tốc độ gió tiết diện 0,25-0,35m/s trên bàn mổ cấp 100
• ☞Chênh lệch áp suất: Chênh lệch áp suất giữa các phòng sạch có cấp độ khác nhau không được nhỏ hơn 5Pa, chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và khu vực không sạch không được nhỏ hơn 5Pa, chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và bên ngoài không được nhỏ hơn nhỏ hơn 10Pa

Nhiệt độ:

• ☞Phòng sạch với yêu cầu về nhiệt độ, độ ẩm cho quá trình sản xuất: được xác định theo yêu cầu của quá trình sản xuất
• ☞Phòng sạch không có yêu cầu về nhiệt độ và độ ẩm cho quy trình sản xuất: 24~26°C vào mùa hè, 20~22°C vào mùa đông
• ☞Thanh lọc nhân sự và phòng khách: 26~30°C vào mùa hè, 16~20°C vào mùa đông

Lượng không khí trong lành trong phòng sạch phải là mức tối đa của hai mục sau:

• 1. Bù lượng khí thải trong nhà và tổng lượng khí sạch cần thiết để duy trì áp suất dương trong nhà.
• 2. Đảm bảo lượng gió tươi cung cấp cho mỗi người trong phòng sạch mỗi giờ không dưới 40m³.
  vật liệu kết cấu
• 1. Tường và mái của phòng sạch thường được làm bằng thép tấm màu sandwich dày 50mm và các cấu hình nhôm oxit để thanh lọc. Cửa sử dụng cửa kín khí thanh lọc và cửa sổ sử dụng cửa sổ cố định bằng kính hợp kim nhôm.
• 2. Sàn sử dụng sàn epoxy tự san phẳng hoặc sàn sạch bằng nhựa chịu mài mòn cao cấp.
• 3. Các ống thanh lọc và thông gió được làm bằng các tấm thép mỏng mạ kẽm và các tấm cách nhiệt chống cháy “PEF” được sử dụng để cách nhiệt.
  Thành phần hệ thống chức năng chỉnh sửa phát sóng

Kiến thức cơ bản về bộ lọc

Bộ lọc là thiết bị lọc chính trong phòng sạch và là phương tiện lọc không khí chính. Do đó, điều rất quan trọng đối với những người tham gia quản lý thiết kế, xây dựng và bảo trì phòng sạch là phải hiểu và nắm vững kiến ​​​​thức cơ bản về bộ lọc.

1. Phân loại bộ lọc

Được chia theo hiệu suất của bộ lọc (hiệu quả, khả năng chống chịu, khả năng giữ bụi), thường được chia thành sáu loại bộ lọc: thô, trung bình, cao, dưới cao, hiệu suất cao (HEPA) và siêu hiệu suất cao (ULPA).

Trong tiêu chuẩn quốc gia “Bộ lọc không khí” GB/T14295-93 của quốc gia tôi, hiệu quả và khả năng chống chịu của các bộ lọc khác nhau được quy định như sau:

Tiêu chuẩn quốc gia “Bộ lọc không khí hiệu quả cao” GB13554-92 quy định rằng các bộ lọc hiệu quả cao được chia thành bốn loại: A, B, C và D theo hiệu suất của chúng. Loại D còn được gọi là bộ lọc hiệu suất cực cao (hoặc bộ lọc hiệu suất cao 0,1μm hoặc bộ lọc có độ thấm cực thấp).

Cửa sổ chuyển nhượng

1. Mục đích: Phương pháp tiệt trùng đối với những vật dụng không được tiệt trùng bằng phương pháp tiệt trùng ở nhiệt độ cao và áp suất cao.

2. Quy trình vận hành:

• 1. Lau các mặt hàng sẽ được giao bằng axit peracetic 0,5% hoặc dung dịch iodophor 5%.
• 2. Mở cửa ngoài của cửa sổ chuyển, nhanh chóng đặt các vật phẩm cần chuyển, khử trùng cửa sổ chuyển bằng bình xịt axit peracetic 0,5% và đóng cửa ngoài của cửa sổ chuyển.
• 3. Bật đèn cực tím trong cửa sổ chuyển và chiếu các vật phẩm sẽ được chuyển bằng đèn cực tím trong không ít hơn 15 phút.
• 4. Thông báo cho người thí nghiệm hoặc nhân viên trong hệ thống rào chắn, mở cửa bên trong của cửa sổ chuyển và lấy vật phẩm ra

Vòi sen không khí

1. Tổng quan: Buồng tắm khí là thiết bị dùng cho xưởng sạch, phòng sạch đúc sẵn, dùng để thổi sạch bụi bám trên bề mặt cơ thể người và các vật dụng mang theo vào xưởng thanh lọc, đồng thời thanh lọc không khí vòi hoa sen cũng hoạt động như một khóa không khí để ngăn không khí. Tinh khiết xâm nhập trái phép vào khu vực sạch, đây là một thiết bị hiệu quả để thanh lọc cơ thể con người và ngăn không khí bên ngoài làm ô nhiễm khu vực sạch.

Kết cấu: Dòng vòi hoa sen không khí được trang bị các tấm tường màu cách nhiệt bằng bọt và các thành phần hợp kim nhôm, được trang bị quạt ly tâm, hiệu ứng chính và bộ lọc không khí hiệu quả cao, với hình thức đẹp, cấu trúc nhỏ gọn, bảo trì thuận tiện, vận hành đơn giản, tính năng.

2. Nguyên tắc: Không khí trong phòng tắm không khí đi vào hộp áp suất tĩnh thông qua bộ lọc sơ cấp thông qua hoạt động của quạt và sau khi được lọc bằng bộ lọc không khí hiệu quả cao, không khí sạch được đẩy ra từ vòi của không khí phòng tắm ở tốc độ cao. Góc của vòi phun có thể được điều chỉnh, có thể hiệu quả. Bụi bám trên bề mặt của người hoặc vật dụng mang theo được thổi bay cẩn thận, và bụi thổi xuống được tái chế vào bộ lọc không khí sơ cấp, để lưu thông có thể đạt được mục đích của vòi hoa sen không khí.

3. Công dụng và tính năng: Vòi sen khí là thiết bị thanh lọc cá nhân được người vận hành sử dụng khi vào phòng sạch, sử dụng không khí sạch tốc độ cao để thổi và làm ướt nhằm loại bỏ bụi bẩn trên người người vào phòng. được điều chỉnh để loại bỏ bụi bẩn trên người một cách hiệu quả.Bụi và ngăn ngừa ô nhiễm bên ngoài xâm nhập vào khu vực sạch. Nó cũng có thể được sử dụng để thổi hàng hóa cồng kềnh.

4. Thành phần thiết bị: chủ yếu bao gồm thân buồng, ánh sáng, hệ thống lọc, bộ phận quạt, ống ngậm, điều khiển điện và các bộ phận khác.

(1) Thân buồng: tấm tường được làm bằng tấm cách nhiệt thép màu, tấm bên trong và bên ngoài đều là tấm thép màu, phần giữa được lấp đầy bằng vật liệu polystyrene dày 60mm và bọt PU được tạo thành liên tục; tấm bên trong và bên ngoài được ép tích hợp với vật liệu cách nhiệt. Kích thước cổng ra vào dành cho nhân sự là (rộng x cao) mm: 700×1800.

(2) Chiếu sáng trong nhà: đèn chiếu sáng được lắp đặt phía trên thân buồng, đèn tuýp sử dụng nguồn sáng hiệu suất cao của Philips, an toàn, tiết kiệm năng lượng, dễ bảo trì, chấn lưu là loại chấn lưu chuyên dụng cho buồng phun sơn đảm bảo cường độ ánh sáng ≥ 500Lx.

(3) Hệ thống cung cấp và xả khí:

A. Sơ đồ cấu hình cung cấp và xả khí thông qua một bộ thiết bị cấp khí, được trang bị quạt thổi và quạt sử dụng quạt ly tâm. Một bộ quạt thông gió được sử dụng để thông gió cho căn phòng.

b. Vòi thổi đa năng: Không khí trong nhà được thổi đến các góc khác nhau của người vận hành bằng các vòi thổi đa năng được lắp đặt ở mặt trên và mặt bên của buồng để đảm bảo chất lượng sạch.

c) Hệ thống điều khiển: Sử dụng linh kiện nhập khẩu hoặc liên doanh để toàn bộ hệ thống điều khiển có độ tin cậy cao.

1. Quy trình vận hành buồng tắm khí:

2. Mục đích: Để duy trì việc sử dụng vòi sen khí một cách an toàn và duy trì sự sạch sẽ của môi trường phòng sạch.

Ba, việc sử dụng phòng tắm không khí:

• 1. Nhân viên vào phòng sạch và không có bụi phải cởi áo khoác ở phòng thay đồ bên ngoài, đồng hồ, điện thoại di động, phụ kiện và các vật dụng khác.
• 2. Vào phòng thay đồ bên trong và mặc quần áo phòng sạch sẽ không dính bụi, đội mũ, đeo khẩu trang và đeo găng tay.
• 3. Sau khi kéo mở cửa buồng tắm khí bằng thép không gỉ và bước vào phòng tắm khí, cửa phòng tắm khí sẽ tự động đóng cửa bên ngoài ngay lập tức và cảm biến hồng ngoại (điều khiển bằng giọng nói/nhiệt cơ thể) sẽ tự động khởi động buồng tắm khí và thổi cho 15 giây (cài đặt gốc). Lưu ý: Không thể mở hai cửa thép không gỉ của buồng tắm khí cùng lúc khi buồng tắm khí đang thổi. Nếu mở cưỡng bức, khóa điện tử sẽ bị hỏng. Hai cửa của buồng tắm khí được khóa liên động điện tử.
• 4. Sau khi tắm không khí xong, đẩy cửa ra và bước vào căn phòng sạch sẽ và không có bụi.

Thứ tư, quản lý phòng tắm không khí:

• 1. Phòng tắm không khí được quản lý bởi người phụ trách và vật liệu lọc chính được thay thế thường xuyên hàng quý.
• 2. Thay bộ lọc hiệu suất cao (bằng tấm gỗ nhỏ) trong buồng tắm khí 2 năm một lần.
• 3. Mở và đóng cửa trong và ngoài của vòi sen khí một cách nhẹ nhàng.
• 4. Trong quá trình sử dụng, vui lòng không tùy ý chạm vào công tắc và điều chỉnh hệ thống nhắc nhở bằng giọng nói thông minh.
• 5. Trong trường hợp hỏng hóc trong phòng tắm không khí, cần tắt công tắc dừng khẩn cấp kịp thời và báo cho nhân viên bảo trì chuyên nghiệp để sửa chữa. Trong trường hợp bình thường, nút thủ công không được phép khởi động.

Tuổi thọ và bảo trì của FFU đã được chứng minh là không có gì phải lo lắng. Những cải tiến hiện tại chủ yếu là:

• (1) Thực hiện các biện pháp để cân bằng dòng điện và giảm tiếng ồn, và tiếng ồn có thể được giữ trong khoảng 50db
• (2) Động cơ sử dụng DC/EC (động cơ chỉnh lưu điện tử), giúp tiết kiệm gần 50% điện năng tiêu thụ so với động cơ AC ban đầu, bởi vì động cơ AC công suất nhỏ (công suất <1/2HP) được sử dụng trong quạt nhỏ là nói chung tụ điện tách pha hoặc loại cực ẩn hiệu suất chỉ khoảng 40%, trong khi hiệu suất của động cơ DC/EC có thể đạt 75-80%. Về điều khiển tốc độ, mỗi đơn vị có thể được điều khiển bằng cách giảm áp suất của bộ lọc để tiết kiệm năng lượng tiêu thụ, nhưng lợi tức đầu tư. Thời gian vẫn còn dài và chưa được sử dụng rộng rãi. Nói chung, điều khiển nhóm hoặc điều khiển tất cả các nhóm thường được sử dụng.
• (3) Tuy nhiên, áp suất tĩnh ở đầu ra của cánh đảo gió FF không được quá lớn, tốc độ gió ở đầu ra thông thường là 0,38m/s, lúc này áp suất tĩnh thường trong khoảng 250Pa.

1. Ưu điểm của hệ thống hồi gió FFU so với các phương pháp khác

Thuận lợi:

• (1) Tính linh hoạt cao, dễ biến đổi
• (2) Chiếm ít không gian xây dựng hơn
• (3) Áp suất không khí trong phòng sạch lớn hơn áp suất không khí hồi trong phòng áp suất tĩnh, loại bỏ khả năng phòng áp suất tĩnh gây ô nhiễm phòng sạch.

Sự thiếu sót:

• (1) Cần phải kiểm soát tổng điện trở của ống gió hồi (bao gồm sàn đục lỗ, lưới tản nhiệt và ống dẫn khí), điện trở của bộ làm mát bề mặt khô và điện trở của bộ lọc cuối cùng (ở điện trở ban đầu) tại tổng cộng khoảng 165Pa để đáp ứng các yêu cầu vận hành. Khi lực cản tối đa nằm trong khoảng 250Pa. Do đó, diện tích truyền nhiệt của bộ làm mát bề mặt khô phải lớn hơn, kích thước của ống dẫn khí hồi cũng phải lớn hơn và điện trở của sàn xốp và lưới tản nhiệt phải nhỏ. của bộ làm mát bề mặt khô khoảng 50Pa và ống gió hồi. Điện trở trong khoảng 15Pa, nếu không thì cần bổ sung thêm hệ thống quạt điều áp, điều này làm giảm ưu điểm chung của hệ thống FFU.
• (2) Sau khi sử dụng động cơ DC/EC, mức tiêu thụ năng lượng trên một đơn vị thể tích không khí có thể thấp hơn so với hệ thống quạt ly tâm quy mô lớn tập trung hiện tại, nhưng vẫn phải cao. Vì vậy cần quan tâm đến các yếu tố làm tăng hiệu suất của quạt hướng trục lớn và giảm trở lực của hệ thống.
• (3) Do mức tiêu thụ năng lượng lớn trên một đơn vị thể tích không khí của hệ thống FFU chung, tải làm mát của phòng sạch cũng tăng theo.

Đánh giá trong các trường hợp cụ thể:

• (1) Khi FFU được sử dụng để biến các tòa nhà cũ thành phòng sạch, nền kinh tế toàn diện của nó nói chung là đáng mong đợi.
• (2) Trong phòng sạch với các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch, khi tỷ lệ bao phủ toàn bộ của bộ lọc cuối cùng là 100%, hiện tại việc sử dụng FFU cho một hệ thống lớn là không kinh tế; việc so sánh cụ thể cho một hệ thống nhỏ là rất có ý nghĩa.
• (3) Trong phòng sạch với các yêu cầu ít nghiêm ngặt hơn về độ sạch, khi tỷ lệ bao phủ toàn bộ của bộ lọc cuối cùng là ≤40%, nền kinh tế tổng thể của hệ thống lớn thường giống nhau, nhưng tính linh hoạt của hệ thống FFU rất quan trọng đối với các nhà máy sản xuất vi mạch. Do đó, khi tỷ lệ bao phủ toàn bộ bộ lọc là ≤40% trong nhà máy sản xuất vi mạch hiện tại, người ta thường sử dụng hệ thống FFU.

Nguyên vật liệu và thiết bị

Ngoài việc quản lý nhân sự ra vào phòng sạch theo tiêu chuẩn, việc ra vào nguyên vật liệu, thiết bị cũng phải tuân theo quy trình sạch sẽ để không ảnh hưởng đến độ sạch của phòng sạch.

Còn chuyển ra ngoài thì làm theo chiều ngược lại chứ không cần qua công đoạn rửa.

Phòng sạch dùng cho nguyên liệu, thiết bị ra vào là phòng sạch cấp 1000 hoặc 10.000, nhân viên khi vệ sinh thiết bị, nguyên liệu trong phòng phải mặc quần áo sạch, ngoài ra phải sử dụng nước siêu tinh khiết, nồng độ 3-5%. Hóa chất IPA hoặc acetone được thêm vào để tăng cường khả năng khử nhiễm. Vì IPA và acetone dễ bay hơi nên phải đặc biệt xem xét hiệu ứng khí thải của căn phòng. Để tránh làm hỏng giá đỡ sàn và bề mặt sàn khi di dời thiết bị, cần đặt các tấm thép không gỉ đã được làm sạch lên sàn trước để hỗ trợ.

Vật tư phòng sạch không bụi

Ngoài quần áo sạch, giày chống tĩnh điện, mũ trùm đầu, mũ, găng tay và khẩu trang để ra vào phòng sạch, còn có bàn, ghế, văn phòng phẩm bằng giấy, hộp wafer, phương tiện di chuyển, sổ ghi chép, bảng thông báo, thùng rác, máy hút bụi, thiết bị.

Điều kiện cơ bản đối với chất liệu quần áo sạch là chúng không bị hư hỏng hoặc tạo ra bụi sau khi giặt hoặc sử dụng các phương pháp xử lý khác, đồng thời vải không bắt lửa và không có xơ, đồng thời phương pháp dệt hoặc cấu trúc vải không dễ truyền chất ô nhiễm hoặc bám dính. Ngoài ra, không có tĩnh điện hoặc điện khí hóa bất thường sau ma sát, dễ dàng tái tạo sau khi giặt, không có khả năng chống nhăn và quần áo thoải mái cũng là những tiêu chí được cân nhắc khi lựa chọn. Chất liệu của mũ trùm đầu được làm bằng giấy không bụi (hoặc giấy không có sợi), chất liệu của mũ giống như chất liệu của quần áo sạch, khi cả hai mặc vào sử dụng, ngoại trừ chỉ có đôi mắt hoặc phần mặt lộ ra thì các phần khác phải che, chỗ nối phần trên với áo cũng phải che hết, không để hở, không được để lộ tóc.

Giày phòng sạch phải vừa vặn, thoải mái khi mang, dễ giặt, phần dưới nên làm bằng nhựa, phần vải nên làm từ chất liệu tương tự như quần áo sạch. Ngoài chất liệu vải giống như quần áo sạch, chất liệu của găng tay còn có cao su mỏng hoặc nhựa vinyl (Vinyl), nếu trong quá trình sử dụng bạn cảm thấy khó chịu hoặc cản trở việc ngón tay chạm vào dầu mỡ, hãy ngừng sử dụng nếu có bột trên bề mặt của găng tay, nó phải được loại bỏ hoặc Về nguyên tắc, tốt hơn là sử dụng găng tay Vinyl không có bột. (Các đối tác nhà máy hợp tác của Clean First Aid Network cung cấp các minh họa tại chỗ về xưởng không bụi cho đồng nghiệp vệ sinh). Quần áo, giày, mũ… không dính bụi phải do nhân viên đặc biệt quản lý và giặt sạch thường xuyên. làm sạch phòng bằng nước tinh khiết và dung môi tẩy rửa. Và qua màng lọc khoảng 0.2μm, chu trình rửa chung tùy theo mức độ sạch sẽ, 2 đến 3 ngày ở khu vực có độ sạch cao, và 5 ngày đến 1 tuần ở các khu vực khác, và nên được niêm phong ngay sau khi giặt và sấy khô. Quần áo giặt nên được bảo quản trong phòng sạch sẽ, trong tủ bảo quản phụ tùng hoặc sản phẩm mới, người dùng thường xuyên nên treo trên móc để dễ lấy

Trong phòng sạch, con người là yếu tố quan trọng quyết định việc tạo ra ô nhiễm dạng hạt. Nhân viên làm việc trong phòng sạch phải hiểu đầy đủ ảnh hưởng của thói quen vệ sinh cá nhân đến độ sạch của phòng sạch, đây là điều quan trọng nhất. Shanghai Purifying Engineering sẽ giới thiệu các quy trình mà nhân viên phòng sạch phải tuân theo cũng như các yêu cầu đối với quần áo và vật dụng cá nhân để độc giả tham khảo.

Về trang sức, nhân viên có thể đeo nhẫn cưới, nhẫn đính hôn nhưng tốt nhất không nên đeo nhẫn có góc nhọn, cạnh sắc vì có thể đâm thủng găng tay hoặc quần áo. Nếu phải đeo những chiếc nhẫn như vậy, bạn cần quấn chúng bằng băng dính trước khi đeo găng tay và mặc quần áo sạch. Khuyên tai, vòng cổ, trâm cài và đồ trang sức nhô ra hoặc lủng lẳng khác không được khuyến khích, mặc dù chúng thường được giấu dưới quần áo và tốt nhất nên tránh. Vì những thứ này có thể cản trở các hoạt động bình thường của phòng sạch hoặc phòng thí nghiệm.

Các vật dụng cá nhân như thuốc lá, ví, khăn giấy và các sản phẩm từ giấy phải được cất trong bàn hoặc tủ khóa và không được mang vào phòng sạch. Túi quần áo chỉ được để trống trong phòng sạch trừ khi được ban quản lý cho phép cụ thể. Trước tiên, kính mắt và kính bảo hộ phải được lau sạch tất cả các hạt ô nhiễm có thể nhìn thấy trước khi vào phòng sạch.

Vảy da khô, không khí thở ra và nước bọt có thể làm nhiễm bẩn sản phẩm. Bọc giày dùng một lần tốt nhất nên thay một hoặc hai lần một ngày. Hầu hết các phòng thay đồ đều có một bên sạch và một bên bẩn, và nhân viên phòng sạch phải luôn tuân theo các quy tắc. Bạn không thể bước ra khỏi phòng thay đồ với bao giày và đi vào với cùng một đôi bao giày.

Tốt nhất là đội một chiếc mũ tròn mịn. Như đã đề cập trước đó, tóc, bao gồm cả tóc mái, phải được giấu hoàn toàn trong mũ và không thể lộ ra ngoài. Mũ chỉ có thể được cởi ra bên ngoài phòng sạch hoặc phòng thay đồ, và không thể cởi ra bên trong phòng sạch. Những chiếc mũ đã được đội bên ngoài phòng sạch hoặc phòng thay đồ không thể được sử dụng lại.

Đối với quần áo sạch đã mặc, nên thay một hoặc hai lần một tuần hoặc ngay khi quần áo bị bẩn. Mỗi công ty có những quy định khác nhau về thủ tục này. Quy định về trang phục phải được tuân thủ mọi lúc. Quần áo không được tiếp xúc với sàn nhà. Tiếp xúc với sàn nhà có thể làm ố quần áo.

Nếu cần sử dụng găng tay, phải sử dụng găng tay cao su hoặc nitrile không chứa bột phòng sạch. Vì một số người bị dị ứng với protein trong mủ cao su, nếu tay xuất hiện các đốm đỏ do sử dụng găng tay cao su không có bột, thì nên sử dụng găng tay nitrile để thay thế. Một khi găng tay bị phai màu hoặc có lỗ thủng thì phải thay ngay, nhưng không được thay trong phòng sạch mà chỉ được thay trong phòng thay đồ. Thay vì kéo và giật mạnh găng tay, nên rút găng tay ra khỏi tay một cách từ từ.

Hệ thống máy hút bụi

Máy hút bụi phòng sạch là loại máy hút bụi công suất lớn chuyên dụng dành cho xưởng, nhà xưởng không gây bụi bẩn, có thể hoàn thành công việc vệ sinh một cách nhanh chóng, tiện lợi và hiệu quả.

Đặc điểm:

• Hiệu quả lọc cực cao, có thể loại bỏ hiệu quả các loại bụi có hại gây dị ứng cho khí quản hô hấp, giảm thiểu các bệnh về đường hô hấp.
• Khi sử dụng máy hút bụi chuyên dụng, bạn có thể giảm số lần vệ sinh nhà xưởng do máy không phát tán lại bụi và có thể lọc sạch không khí trong nhà.
• Có đủ loại đầu hút, có thể dễ dàng vệ sinh ở mọi ngóc ngách.
• Siêu hút có thể hút bụi ở lớp sâu hơn.
• Thiết kế mới lạ và nhẹ nhàng, phù hợp với công thái học, sẽ không gây đau thắt lưng và đau lưng trong quá trình hoạt động, giảm bớt sự khó chịu cho con người.
• Máy hút bụi đặc biệt có thể được sử dụng đặc biệt để ngăn bụi nổ và bụi độc hại như amiăng, chì và các chất khác, NASA đã chỉ định đặc biệt sử dụng máy hút bụi đặc biệt chuyên dụng để loại bỏ bụi mịn trong nhà kho.

Các bộ phận chính của máy hút bụi phòng sạch:

• Đầu lớn: Khi làm sạch một khu vực rộng lớn trên mặt đất, sử dụng đầu lớn có thể nâng cao hiệu quả công việc một cách hiệu quả và nhanh chóng.
  Đầu nhặt nhỏ: Khi khu vực làm sạch tương đối nhỏ, đầu nhặt nhỏ có thể nhanh chóng và dễ dàng loại bỏ bụi và các hạt từ đáy bàn làm việc.
  Bàn chải tròn: phạm vi làm việc chủ yếu tập trung vào bề mặt làm việc, làm sạch các hạt mịn trên bề mặt làm việc
• Thanh kính thiên văn: tăng phạm vi làm sạch.
• Vòi: Khi máy hoạt động bình thường, các hạt nhỏ, bụi và đồ lặt vặt được hấp thụ sẽ được chuyển đến hệ thống lọc đầu tiên thông qua vòi thông qua cổng hút.
• Túi bụi: Hệ thống lọc đầu tiên của máy hút bụi phòng sạch cũng là mắt xích quan trọng nhất, nó thu gom các hạt bụi nhỏ mà mắt người có thể phân biệt được, đóng vai trò quan trọng trong việc bảo vệ động cơ và bộ lọc hiệu quả cao.

Công tắc:

• Điều khiển khởi động và tắt máy hút bụi.
• Bộ lọc hiệu quả cao: Bộ lọc hiệu quả cao là hệ thống lọc lớn thứ tư của máy hút bụi, đồng thời cũng là mắt xích cuối cùng, bộ lọc hiệu quả cao có thể lọc các hạt nhỏ 0,012um và không khí được lọc có thể đạt tới hơn 100 điểm.
• Nguyên lý làm việc: nguyên lý chân không. Cánh quạt của máy hút bụi được điều khiển bởi động cơ ở tốc độ cao và không khí trong cánh quạt được thải ra khỏi quạt ở tốc độ cao, đồng thời, không khí trong bộ phận hút bụi liên tục được bổ sung vào quạt . Bằng cách này, sự chênh lệch áp suất cao hơn được hình thành giữa bên trong và bên ngoài. Bụi bẩn từ vòi hút được hút vào bộ phận hút bụi cùng với không khí và đi qua ống rò rỉ để hút bụi bẩn và các hạt vào bồn rửa.

Sử dụng và bảo dưỡng máy hút bụi trong phòng sạch

• Trước khi sử dụng máy hút bụi, vui lòng đảm bảo rằng điện áp trong nhà phù hợp với điện áp định mức của máy. Máy hút bụi được trang bị túi đựng bụi. Không sử dụng máy hút bụi cho đến khi túi bụi được lắp đúng cách.
• Khởi động và dừng Cắm phích cắm của dây nguồn vào ổ cắm điện, bật công tắc nguồn của máy hút bụi và kết nối nguồn động cơ của máy hút bụi. Sau khi hút bụi, trước tiên hãy tắt công tắc nguồn của máy hút bụi, và sau đó rút dây nguồn
• Thay túi bụi Nếu túi bụi đầy, vui lòng đảm bảo rằng nguồn điện của máy hút bụi đã được tắt hoặc đã rút phích cắm điện khỏi ổ cắm điện, lấy túi bụi đầy ra và đặt miệng túi bụi mới vào. túi bụi vào thẻ vòi, sau đó kéo túi bụi mới
• Làm sạch bộ lọc hiệu suất trung bình loại túi và nắp bảo vệ động cơ Bộ lọc hiệu suất trung bình loại túi và nắp bảo vệ động cơ có thể giặt được. Nếu bộ lọc hiệu suất trung bình loại túi và nắp bảo vệ động cơ bị mất cắp, vui lòng tháo chúng ra, rửa và lau khô Sau đó lắp theo bộ phận đã tháo, nếu có hư hỏng vui lòng liên hệ đại lý hoặc đại lý để được thay thế.
• Sau khi sử dụng, hãy lau sạch bằng khăn không bụi và đặt ở nơi khô ráo, sạch sẽ. Không đặt ở môi trường ẩm ướt hoặc dưới ánh nắng trực tiếp, điều này sẽ dẫn đến những nguy hiểm khó lường. Vui lòng không sử dụng các dung môi hữu cơ như ethanol để kiểm tra bề mặt của máy, nếu trên thân máy có vết bẩn khó loại bỏ, hãy dùng khăn vải không bụi nhúng vào một ít chất tẩy rửa trung tính để kiểm tra, sau đó dùng khăn khô lau khô. Bộ lọc hiệu suất cao của máy hút bụi là một thiết bị chính xác, cần được thay thế kịp thời tùy thuộc vào hoạt động của động cơ và môi trường sử dụng, nếu không sẽ ảnh hưởng đến tuổi thọ của động cơ. Và ảnh hưởng đến tuổi thọ của động cơ động cơ của máy hút bụi, túi bụi phải được thay đúng cách theo số giờ hoạt động của động cơ và môi trường sử dụng nó.
• Để tránh bị điện giật và đảm bảo vận hành an toàn, vui lòng đọc hướng dẫn và các lưu ý an toàn trước khi sử dụng máy hút bụi
• Trước khi sử dụng máy rửa xe, hãy đảm bảo rằng điện áp của nguồn điện được kết nối phù hợp với điện áp của máy
• Trước khi sử dụng máy hút bụi, vui lòng đảm bảo rằng cổng hút của máy hút bụi không bị tắc
• Máy hút bụi này là loại máy hút bụi khô, chỉ dành cho máy hút bụi khô, vui lòng không cố gắng sử dụng nó để hút nước và các chất lỏng khác
• Máy hút bụi này không được thiết kế cho môi trường chống cháy nổ, vui lòng không sử dụng nó trong môi trường chống cháy nổ hoặc những nơi có khí dễ cháy

Thiết kế tiết kiệm năng lượng

1. Thiết kế tốc độ gió tiết diện thấp

Vận tốc mặt cắt là vận tốc mà không khí trong bộ xử lý không khí đi qua bộ lọc hoặc cuộn dây sưởi ấm/làm mát.

Hầu hết các kỹ sư thiết kế bộ xử lý không khí với tốc độ 500 inch mỗi phút dựa trên “quy tắc ngón tay cái”. Mặc dù thiết kế như vậy giúp tiết kiệm thời gian nhưng lại làm tăng chi phí vận hành. Trong thiết kế tốc độ gió tiết diện thấp, bộ xử lý không khí lớn hơn và quạt nhỏ hơn được sử dụng để giảm tốc độ luồng không khí, giảm mức tiêu thụ năng lượng và chi phí tuổi thọ thiết bị.

Độ sụt áp xác định tổn thất năng lượng của quạt. Theo “định luật bình phương”, độ giảm áp suất tỷ lệ với bình phương độ giảm vận tốc. Nếu tốc độ gió tiết diện giảm 20%, độ sụt áp sẽ giảm 36%; nếu tốc độ gió tiết diện giảm 50%, độ sụt áp sẽ giảm 3/4. Theo “quy tắc lập phương”, sự thay đổi mức tiêu thụ năng lượng của quạt tỷ lệ thuận với lập phương của sự thay đổi lưu lượng. Nếu tốc độ dòng khí giảm 50%, mức tiêu thụ năng lượng của quạt sẽ giảm 88%.

Do đó, các bộ xử lý không khí có kích thước lớn hơn, các khu vực cuộn dây và bộ lọc lớn hơn sẽ tiêu thụ ít năng lượng quạt hơn và cho phép sử dụng các quạt và động cơ nhỏ hơn. Những chiếc quạt nhỏ sẽ tạo ít nhiệt hơn cho không khí, giảm bớt khó khăn cho việc làm mát. Các cuộn dây có độ dày ít hơn sẽ dễ làm sạch và hoạt động hiệu quả hơn, do đó nhiệt độ nước lạnh có thể cao hơn. Bộ lọc hoạt động tốt hơn và có tuổi thọ cao hơn trong trường hợp tốc độ gió tiết diện thấp.

Thiết kế làm giảm sự sụt giảm áp suất không khí và nước, giảm lượng nước mang theo cuộn dây làm mát. Thiết kế hợp lý với ít góc nhọn giúp giảm áp suất giảm từ 10% đến 15%.

Thiết kế cũng có thể giảm một phần tư độ sụt áp. Mục tiêu là giảm tổn thất năng lượng ít nhất 25% và giảm kích thước của quạt có tốc độ thay đổi. Phạm vi tốc độ gió mặt cắt ngang tối ưu là 250-450 ft/phút, tùy thuộc vào cách sử dụng và mức tiêu thụ năng lượng.

Thứ hai, số lần thay đổi không khí

Phòng sạch duy trì một luồng không khí nhất định để duy trì độ sạch và số lượng hạt. Tốc độ dòng chảy được xác định bởi số lần thay đổi không khí mỗi giờ, điều này cũng xác định kích thước quạt, cấu hình tòa nhà và mức tiêu thụ năng lượng. Với tiền đề duy trì sự sạch sẽ, việc giảm tốc độ không khí có thể làm giảm chi phí xây dựng và tiêu thụ năng lượng. Giảm 20% thời gian thay đổi không khí có thể dẫn đến giảm 50% kích thước quạt. Độ sạch của không khí quan trọng hơn tiết kiệm năng lượng, nhưng các kết quả nghiên cứu mới nhất đã ghi nhận việc giảm chi phí làm sạch.
Không có sự đồng thuận về số lần thông gió tối ưu. Nhiều nguyên tắc đã lỗi thời, dựa trên ý tưởng cũ, với bộ lọc không khí kém hiệu quả. Các cuộc khảo sát đã chỉ ra rằng những thay đổi không khí được khuyến nghị cho phòng sạch ISO Class 5 nằm trong khoảng từ 250 đến hơn 700.

Một phòng thí nghiệm quốc gia ở Hoa Kỳ đang xác định các tiêu chuẩn cho phòng sạch ISO Class 5. Các nghiên cứu đã chỉ ra rằng thay đổi không khí thực tế nằm trong khoảng từ 90 đến 250—thấp hơn nhiều so với định mức vận hành mà không ảnh hưởng đến sản xuất hoặc độ sạch. Do đó, khuyến nghị rằng số lần thay đổi không khí trong phòng sạch ISO loại 5 là khoảng 200, với giới hạn trên vừa phải là 300.

3. Hiệu suất động cơ

Động cơ tiêu thụ hầu hết điện năng trong phòng sạch. Động cơ chạy liên tục tiêu thụ lượng điện lớn mỗi tháng. Tăng hiệu quả đúng cách, định cỡ đúng cách và sau khi trang bị thêm, tính kinh tế có thể sẽ tốt. Tăng hiệu quả lên một vài điểm phần trăm và lợi nhuận có thể tăng lên.
Với một động cơ tốt và hiệu quả, nó không cần phải tốn nhiều tiền. Hiệu quả cao có nghĩa là tối thiểu, giảm thiểu tải trước khi thay đổi kích thước của động cơ. Sử dụng ổ đĩa tốc độ thay đổi có thể cải thiện hiệu quả hoạt động khi đầu ra thay đổi.

4. Tủ đông truyền động tốc độ thay đổi

Tủ đông truyền động tốc độ thay đổi có thể tiết kiệm rất nhiều năng lượng và tiền bạc. Nhiều nhà thiết kế và vận hành phòng sạch tin rằng không cần sử dụng tủ lạnh dẫn động tốc độ thay đổi, vì tải thường không đổi và các thiết bị làm lạnh nhiều tầng thường được điều khiển để hoạt động ở tải cao. Tuy nhiên, một tủ đông có tải không đổi thường hoạt động dưới công suất tối đa. Máy làm lạnh truyền động tốc độ thay đổi thường hoạt động ở mức 90% -95% khi đầy tải để tiết kiệm năng lượng. Một tủ đông 1.000 tấn hoạt động ổn định ở 70% công suất tối đa có thể tiết kiệm từ 20.000 đến 30.000 USD mỗi năm nếu sử dụng ổ đĩa biến tốc. Theo số liệu của nhà sản xuất, giá điện là 0,05 USD/kWh nên khoảng một năm có thể thu hồi chi phí.

Máy làm lạnh chiller nhiều tầng hiếm khi hoạt động ở tải cao. Thông thường, tải trang web không khớp chính xác với các thay đổi mức năng lượng của thiết bị. Nhiều nhà khai thác chạy thêm các thiết bị làm lạnh để đảm bảo độ tin cậy. Khi một thiết bị làm lạnh bị hỏng, các thiết bị làm lạnh khác có thể được bổ sung ngay lập tức để tiếp nhận đầy tải. Do đó, các thiết bị làm lạnh thường chạy các thiết bị làm lạnh ở mức 60% đến 80% công suất làm lạnh.

Khi mua một tủ đông mới, bạn nên chỉ định một tủ đông truyền động có tốc độ thay đổi. Sử dụng tủ đông dẫn động tốc độ thay đổi giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng đồng thời cho phép các tủ đông khác hoạt động đáng tin cậy. Có rất nhiều nghiên cứu và thí nghiệm chứng minh tác dụng của tủ đông truyền động biến tốc là rất tốt. Trong hơn hai thập kỷ, các nhà sản xuất tủ đông truyền động biến tốc đã sản xuất các sản phẩm đáng tin cậy hơn để sử dụng trong các nhà máy sạch mới và được nâng cấp.

Đối mặt với các vấn đề nóng

2.1 Áp dụng các giá trị khuyến nghị hoặc tham chiếu

Việc xác định vận tốc dòng khí dưới một mức độ sạch nhất định trong phòng sạch thay đổi tùy theo việc sử dụng phòng sạch và các điều kiện cụ thể khác.Nó không chỉ bị ảnh hưởng bởi lượng bụi phát sinh trong phòng và hiệu suất lọc mà còn bởi các yếu tố khác Đối với phòng sạch công nghiệp, nó ảnh hưởng đến độ sạch và lựa chọn.Các yếu tố chính của tốc độ không khí là:

• (1) Các nguồn gây ô nhiễm trong nhà: các thành phần xây dựng, số lượng nhân viên và hoạt động vận hành, thiết bị xử lý, nguyên liệu xử lý và bản thân quá trình đều là nguồn phát tán hạt bụi, có thể thay đổi rất nhiều tùy theo tình huống cụ thể;
• (2) Mô hình và phân phối luồng không khí trong nhà: Luồng một chiều yêu cầu các luồng không khí đồng đều và bằng nhau, nhưng nó sẽ bị xáo trộn bởi cách bố trí và thay đổi vị trí của thiết bị xử lý và các hoạt động của nhân viên để tạo thành các xoáy cục bộ; luồng không một chiều yêu cầu trộn hoàn toàn, Tránh ngõ cụt và phân tầng nhiệt độ;
• (3) Các yêu cầu kiểm soát về thời gian tự làm sạch (thời gian phục hồi): Việc vô tình giải phóng hoặc đưa vào các chất gây ô nhiễm hoặc gián đoạn luồng không khí trong phòng sạch hoặc luồng không khí đối lưu gián đoạn trong quá trình vận hành hoặc di chuyển bình thường của người và thiết bị sẽ làm giảm độ sạch. , thời gian tự thanh lọc để trở lại độ sạch ban đầu phụ thuộc vào tốc độ luồng không khí; yêu cầu kiểm soát đối với thời gian tự làm sạch phụ thuộc vào khả năng chịu tác động đến chất lượng và sản lượng của sản phẩm trong khung thời gian này (trong điều kiện xuống cấp sạch sẽ);
• (4) Hiệu quả của bộ lọc cuối cùng: Dưới một lượng phát sinh bụi trong nhà nhất định, có thể sử dụng bộ lọc hiệu suất cao hơn để giảm tốc độ dòng khí; để tiết kiệm năng lượng, nên xem xét bộ lọc hiệu suất cao hơn và nên điều chỉnh tốc độ dòng khí giảm, hoặc Sử dụng bộ lọc hiệu quả thấp hơn và sử dụng tốc độ không khí cao hơn để giảm thiểu sản phẩm của dòng chảy và lực cản;
• (5) Cân nhắc về kinh tế: Tốc độ dòng khí quá lớn sẽ làm tăng chi phí đầu tư và vận hành, tốc độ dòng khí thích hợp là sự kết hợp hợp lý của các yếu tố trên, tốc độ dòng khí quá lớn thường không cần thiết và có thể không hiệu quả;
• (6) Đối với phòng sạch có yêu cầu về độ sạch thấp, đôi khi số lần thay đổi không khí phụ thuộc vào yêu cầu loại bỏ nhiệt trong nhà.
• Các yếu tố trên rất khó định lượng và chỉ có thể phân tích, so sánh và ước lượng. Do đó, trong các ứng dụng kỹ thuật, tốc độ dòng khí của phòng sạch thường được xác định bằng cách tham khảo các giá trị khuyến nghị hoặc tham chiếu của các thông số kỹ thuật và hướng dẫn có liên quan, sau đó ước tính các yếu tố ảnh hưởng nêu trên theo tình huống cụ thể sau khi xem xét toàn diện.

Tốc độ dòng khí được sử dụng trong phòng sạch dòng chảy một chiều; số lượng thay đổi không khí phù hợp với phòng sạch dòng chảy không một chiều, vì tốc độ dòng khí khó đo lường; nó cũng được phản ánh bởi tỷ lệ bao phủ toàn bộ của bộ lọc cuối cùng, có thể được sử dụng cho các kiểu luồng không khí khác nhau đối với phòng sạch, tỷ lệ che phủ chung là 100% so với tốc độ dòng chảy 0,5m/s (100fpm) và 25% so với 0,125m/s (25fpm). 

Lưu ý: 1. ISO14644-4 rõ ràng được sử dụng làm tham chiếu cho tốc độ dòng khí/số lần thay đổi không khí. Danh sách trong bảng chỉ áp dụng cho các nhà máy vi điện tử và vi mạch, đối với các nhà máy dược phẩm, chỉ ISO5 tốc độ dòng khí > 0,2m/s được liệt kê và đối với các nhà máy dược phẩm Không có giá trị tham chiếu nào được liệt kê cho các loại ISO6 ~ 8.

2. (M) là dòng chảy hỗn hợp, N là dòng chảy không một chiều * là khu vực sạch đã áp dụng các biện pháp cách ly hiệu quả đối với nguồn gây ô nhiễm.

Các giá trị được khuyến nghị hoặc tham khảo cho tốc độ dòng khí và thời gian thay đổi không khí trong Bảng 1 nên được cho là phản ánh kinh nghiệm. Ví dụ: các giá trị do ISO/DIS14664-4 đề xuất rõ ràng có thể áp dụng cho loại phòng sạch đó; giá trị khuyến nghị của IEST cũng được một số tổ chức có thẩm quyền coi là chỉ áp dụng cho các nhà máy bán dẫn. Do những thay đổi lớn trong tình hình cụ thể, một số giá trị thực nghiệm có thể không phù hợp với các biện pháp kiểm soát nguồn bụi trong nhà hiện tại và cải thiện hiệu quả của bộ lọc.

2.2 Thảo luận về các giá trị khuyến nghị hoặc tham khảo

Trong những năm gần đây, nhiều người tin rằng các giá trị được đề xuất hoặc tham chiếu này quá bảo thủ thông qua các thử nghiệm và lập luận của họ có thể được tóm tắt như sau:

(1) Sự khuếch tán ngang của luồng không khí trong phòng sạch chỉ có thể thực hiện được ở tốc độ dòng chảy rất thấp, dưới sự tổ chức luồng không khí hợp lý, luồng một chiều đủ để lấy đi các chất ô nhiễm với tốc độ dòng chảy 0,05-0,1m/s. Ở tốc độ dòng chảy này, submicron hiệu suất khuếch tán của các hạt thấp hơn nhiều so với hiệu suất đối lưu, trong khi vận tốc không khí lớn hơn 0,36m/s dễ tạo ra hàng triệu xoáy khiến các chất ô nhiễm quay trở lại. Do đó, thời gian tự làm sạch lý tưởng Tr=thể tích/tốc độ dòng chảy của phòng sạch, sau khi đạt đến một giá trị nhất định, do các chất ô nhiễm quay trở lại, sau đó tăng vận tốc không khí, Tr thực tế sẽ không còn giảm đáng kể nữa.

(2) Hiệu quả của bộ lọc cuối cùng đối với độ sạch rất đáng được quan tâm. Một số giá trị khuyến nghị hoặc tham khảo cho tốc độ không khí/thời gian thay đổi không khí thường không tính đến các yếu tố cải thiện hiệu quả của bộ lọc cuối cùng. Hiện tại, hiệu quả của HEPA/ULPA có thể được chọn từ 99,67%, 99,99%, 99,999%, 99,9995% đến hơn 8 số chín. Ngoài ảnh hưởng đã đề cập ở trên về hiệu quả của nó đối với tốc độ dòng khí, các khía cạnh sau đây cũng đáng được chú ý: Trong trường hợp dòng chảy không một chiều, công thức ổn định nồng độ bụi trong phòng sạch theo nguyên tắc cân bằng phát hành có thể thu được:

(a) Khi lượng bụi tạo ra trong phòng cao, sự thay đổi hiệu quả của bộ lọc cuối cùng ít ảnh hưởng đến độ sạch, do đó, trong trường hợp này, hiệu suất lọc quá cao là không cần thiết.

(b) Khi lượng bụi tạo ra trong phòng thấp, khi tốc độ không khí thấp, sự thay đổi truyền dẫn hiệu quả của bộ lọc cuối cùng sẽ làm tăng tác động đến độ sạch.

Vẽ dữ liệu liên quan:

• Nồng độ bụi trước khi không khí trong lành đi vào bộ lọc cuối cùng là 1,75×106/m3
• Công suất phát trong nhà: G1=350/m3.phút
• G2=3500 chiếc/m3.phút
• G3=35000 chiếc/m3.phút
• G4=350000 chiếc/m3.phút
• Tỷ lệ thể tích không khí trong lành trên tổng thể tích không khí 0,03

Hiện tại, một số nhà máy sản xuất vi mạch có phòng sạch loại ISO5 (0,3μm), sử dụng hệ thống FFU, với ULPA (99,9995%, 0,12μm), tốc độ gió đầu ra là 0,38m/s và tỷ lệ che phủ là 25%. luồng không khí trung bình trong phòng tốc độ là 0,095m/s, nằm dưới giới hạn dưới của từng khuyến nghị hoặc giá trị tham chiếu có liên quan. Quá trình của phòng sạch này được xử lý trong môi trường vi mô và có ít người hơn trong phòng sạch, có thể coi rằng sự cố xảy ra trong phòng sạch là tương đối thấp, trong trường hợp này, có thể nên sử dụng mức thấp vận tốc không khí.

Theo báo cáo, IEST đã hạ thấp giới hạn dưới của giá trị khuyến nghị của tốc độ không khí trong phòng sạch, chẳng hạn như:

• Mức ≤ISO5: vận tốc không khí 0,2～0,5m/s;
• ISO cấp 6 hoặc cấp 5 (dòng không một chiều), số lần thay khí > 200 lần/h;
• Mức ISO7: số lần thay đổi không khí là 20-200 lần/h;
• Mức ISO8: số lần thay đổi không khí là 2 đến 20 lần/h;

Lớp tiêu chuẩn:

• ISO/DIS 14644-1 Phân loại phòng sạch và khu vực sạch theo nồng độ hạt trong không khí
• Phân loại ISO Lớn hơn hoặc bằng nồng độ tối đa cho phép của các hạt lơ lửng với cỡ hạt liệt kê trong bảng (hạt/m3)
  0,1μm 0,2μm 0,3μm 0,5μm 1μm 5μm
• Loại ISO 1 10 2
• Loại ISO2 100 24 10 4
• Mức ISO3 1000 237 102 35 8
• Mức ISO4 10000 2370 1020 352 83
• Lớp ISO5 100000 23700 10200 3520 832 29
• Cấp độ ISO6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
• Cấp ISO7 352000 83200 2930
• Cấp độ ISO8 3520000 832000 29300
• Cấp độ ISO9 35200000 8320000 293000

“Thực hành tốt sản xuất thuốc” (sửa đổi năm 1992)

Mức độ sạch Hạt sống/mét khối Vi sinh vật sống/mét khối

• ≥0,5μm ≥5μm
• Cấp 100 ≤3,500 0 ≤5
• Loại 10.000 ≤350.000 ≤2.000 ≤100
• Cấp 100.000 ≤3.500.000 ≤20.000 ≤500

Tiêu chuẩn cấp phòng sạch cho bộ phận điều hành sạch

• Cấp Nồng độ trung bình tối đa của vi khuẩn lắng đọng (sinh vật phù du) Mật độ ô nhiễm bề mặt tối đa Mức độ sạch của không khí
• Vùng phẫu thuật Vùng ngoại vi Vùng phẫu thuật Vùng ngoại vi
• I 0,2 cái/30 phútΦ90 đĩa (5 cái/m3) 0,4 cái/30 phútΦ90 đĩa (10 cái/m3) 5 cái/cm2 Loại 100 Loại 1000
• II 0,75 cái/30 phútΦ90 đĩa (25 cái/m3) 1,5 cái/30 phútΦ90 đĩa (50 cái/m3) 5 cái/cm2 Loại 1000 Loại 10000
• III 2 cái/30 phútΦ90 đĩa (75 cái/m3) 4 cái/30 phútΦ90 đĩa (150 cái/m3) 5 cái/cm2 Loại 10000 Loại 100000
• IV 5 cái/30 phút, đĩa Φ90 (175 cái/m3) 5 cái/cm2 mức 300000
• Tiêu chuẩn Liên bang Hoa Kỳ 209E

Tên lớp và các giá trị giới hạn khác

• 0,1μm 0,2μm 0,3μm 0,5μm 5μm
• Đơn vị SI Đơn vị hệ Anh /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3
• M1 350 9,91 75,7 2,14 30,9 0,875 10,0 0,283
• M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00
• M2 3500 99,1 757 21,4 309 8,75 100 2,83
• M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0
• M3 35000 991 7570 214 3090 87,5 1000 28,3
• M3.5 100 26500 750 10600 300 3530 100
• M4 75700 21400 30900 875 10000 283
• M4.5 1000 35300 1000 247 7
• M5 100000 2830 618 17,5
• M5.5 10000 353000 10000 2470 70.0
• M6 1000000 28300 6180 175
• M6.5 100000 3530000 100000 24700 700
• M7 10000000 283000 61800 1750

Chuyển đổi đơn vị phổ biến

• 1 mét m = 3,28 feet ft 1CFM (ft3/phút) = 0,4719L/s
• 1 mét vuông m2 = 10,76 feet vuông ft2 1CFS(ft3/s) = 28,32L/s
• 1 mét khối m3 = 35,3 feet khối ft3 1FPM(ft/phút) = 0,00508m/s
• 1 gallon Anh gallon = 4,55 lít L 1BTU/h = 0,2931W
• 1 US gallon gallon = 3,79 lít L 1 kilowatt kw = 860 kcal/giờ kcal/h
• 1 pao lb = 454 gram g 1USTR US Refrigeration Tấn = 3,516 kw
• 1 mã lực HP = 0,746 kilowatt kw 1 bar bar = 100 kilopascal kpa
• 1 độ C ℃ = 5 (F-32 F-32)/9 1mmH2O (mm cột nước) = 9,8067 Pa Pa